kla-tencor先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀,可精確測(cè)量納米級(jí)至2毫米臺(tái)階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力,集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體,是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有6.0a (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率,是目前商業(yè)化儀器里(經(jīng)市場(chǎng)驗(yàn)證)特別高精度的臺(tái)階儀產(chǎn)品。
更新時(shí)間:2025-06-25